AIXUV erhält BMBF-Förderung für EUV-Forschung

Düsseldorf / Aachen (ots) - Für das Verbundprojekt
"EUV-Charakterisierung von EUV-Masken und Maskenblanks" wurde vom
Bundesministerium für Bildung und Forschung (BMBF) ein
Forschungsvorhaben mit einem Volumen von fast 1,5 Mio. Euro
bewilligt.

Die Zuwendung für das von der Aachener AIXUV GmbH initiierte
Projekt erfolgt im Rahmen des Förderungsprogramms "KMU Innovativ
Initiative". Förderungsempfänger sind AIXUV mit bis zu 881.000 Euro
sowie der Lehrstuhl für die Technologie optischer Systeme der RWTH
Aachen (RWTH-TOS) und das Fraunhofer Institut für Lasertechnik (FhG
ILT), die in Zusammenarbeit mit AIXUV grundlegende Fragestellungen
bearbeiten. AIXUV als Projektkoordinator ist eine
Beteiligungsgesellschaft der Düsseldorfer Venture Capital
Gesellschaft Stars Innovation AG.

Hintergrund dieses Forschungsprojekts ist die fortschreitende
Miniaturisierung in der Halbleiterindustrie. Mit der konventionellen
Lithographietechnik werden heute in kommerzieller Herstellung 65 nm
kleine Strukturen auf Halbleiterelementen abgebildet. Eine weitere
Verkleinerung wird angestrebt. Um solche und noch viel kleinere
Strukturen abbilden zu können, ist die Herabsetzung der Wellenlänge
in den Extremen UV-Bereich (EUV) notwendig.

Die lithographische Darstellung von Strukturen dieser
Größenordnung stellt nicht nur an die Produktionsgeräte extreme
Anforderungen, sondern auch an die Messinstrumente, die die Qualität
der Chip-Herstellung sicherstellen sollen. Um diesen gerecht zu
werden, wird AIXUV sein weltweit vermarktetes EUV-Reflektometer MBR
weiter verbessern. Damit wird ein Optimum zwischen hoher Auflösung
des Meßflecks und hohem Durchsatz gewährleistet. Zusätzlich wird der
Prototyp einer neu entwickelten EUV-Lampe mit >100 W EUV-Leistung
optimiert, getestet und für grundlegende Experimente eingesetzt.

Die AIXUV GmbH ist eine Ausgründung des Fraunhofer Instituts für
Lasertechnik und des Lehrstuhls für Lasertechnik der RWTH Aachen aus
dem Jahr 2000.

Die Stars Innovation AG, eine Düsseldorfer Venture
Capital-Gesellschaft, wurde 2005 gegründet. Sie investiert in junge
Unternehmen, die innovative Konzepte auf der Basis von
Nanotechnologie entwickeln. Die Investitionsmittel kommen von
privaten Anlegern, die außerbörslich am Erfolg der
HighTech-Unternehmen beteiligt sein wollen.

Originaltext: Stars Innovation AG
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