EANS-News: SEMATECH und centrotherm kooperieren bei der Entwicklung von Niedertemperatur-Prozessen für die künftigen Generationen von Halbleiterbauelementen (Logik und Speicher) in der Halbleiterind

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Unternehmen

Utl.: • Gemeinsame Bestrebungen zur Entwicklung neuer, für die
Technologie- Roadmap entscheidender Prozesstechnologien •
Partnerschaft ist Bestandteil der centrotherm Strategie, den
Halbleiterbereich weiter auszubauen

Blaubeuren (euro adhoc) - 10. April 2012 - centrotherm thermal
solutions GmbH & Co. KG, eine 100-prozentige Tochter der centrotherm
photovoltaics AG, die Hightech-Produktionsanlagen und dazugehörige
Prozesstechnologien für die Halbleiterindustrie entwickelt, ist dem
Front End Prozess (FEP) Programm von SEMATECH beigetreten. Ziel ist
es, gemeinsam Niedertemperaturprozesse mit Hilfe der von centrotherm
neu entwickelten Niedertemperatur-Plasmaoxidationsanlage für
zukünftige, leistungsfähigste Logik- und Speicherbauelemente zu
entwickeln.

Kontinuierliche Miniaturisierung im Nanometerbereich bedingt neue
Materialien und neue Bauelementkonzepte, die eine Reduzierung des
thermischen Budgets im Prozessfluss erfordern. Um beispielsweise
Transistoren mit hohen Ladungsträgermobilitäten im Kanalbereich
einzuführen, sind Niedertemperaturprozesse dringend erforderlich. So
werden die vorteilhaften Eigenschaften der Kanalmaterialien erhalten.
In gleicher Weise benötigen fortgeschrittene Speichertechnologien
qualitativ hochwertige, elektrische Isolationsschichten. Diese
Oxidschichten werden bei extrem tiefen Temperaturen gewachsen - zum
Beispiel für RRAM Speicherbauelemente (Resistive Random Access
Memory), die Metalloxide enthalten. Die von centrotherm neu
entwickelte Niedertemperatur-Plasmaoxidationsanlage bietet mit Ihrer
Prozesstechnologie eine sehr gute Möglichkeit, durch extrem niedrige
Prozesstemperaturen neuartige Materialien in zukünftige
Bauelementtechnologien zu integrieren.

Als Mitglied dieses Programms wird centrotherm sehr eng mit den
Experten des SEMATECH FEP-Forschungsteams zusammenarbeiten, um mit
Hilfe von SEMATECH Teststrukturen für plasmabasierte
Niedertemperaturprozesse zu optimieren. Das Ziel besteht darin, die
Anwendbarkeit der Niedertemperaturprozesse für Logik- und
Speicherbauelemente mit Strukturbreiten kleiner 14 nm (Nanometer) zu
demonstrieren.

"SEMATECH stellt centrotherm eine exzellente Testplattform zur
Verfügung, um aktuelle Prozesse zu charakterisieren und neue
Anwendungen für unsere Anlage zu erschließen", sagt Peter Augustin,
CEO der centrotherm thermal solutions GmbH & Co. KG. "Diese
Zusammenarbeit ist eine wichtige Möglichkeit für centrotherm, die
technologische Leistungsfähigkeit unserer neuesten Niedertemperatur-
Plasmaoxidationsanlage unseren Kunden zu demonstrieren und ist Teil
unseres ct focus Programms, den Halbleiter- und
Mikroelektronik-Bereich weiter auszubauen."

"SEMATECH ist erfreut, centrotherm als Partner zu begrüßen", erklärte
Raj Jammy, Vice President Emerging Technologies bei SEMATECH.
"centrotherm´s einzigartiges Know-how in thermischen Lösungen ergänzt
unsere Bauelement- und Prozessexpertise. Wir arbeiten zusammen, um
anwendbare und vielversprechende neue Fertigungslösungen zu
entwickeln, um die Anforderungen des Marktes für zukünftige
Transistoren und Speicher zu erfüllen."

Das Ziel des FEP-Programms von SEMATECH ist es, neuartigste
Materialien, Prozesstechnologien, Bauelementmodule sowie elektrische
und physikalische Charakterisierungsmethoden zur Verfügung zu
stellen, um die kontinuierliche Miniaturisierung von Logik- und
Speicheranwendungen zu ermöglichen.

Über centrotherm centrotherm thermal solutions GmbH & Co. KG, eine
100-Prozent-Tochter der centrotherm photovoltaics AG, entwickelt und
produziert High-Tech- Produktionsanlagen zur Herstellung eines großen
Spektrums von Halbleiter- Bauelementen. Zu unseren Kernkompetenzen
gehören neben Prozess und Technik auch die Konstruktion und das
Design unserer Produkte. Sie werden für eine Vielzahl von thermisch
aktivierten Prozessen in verschiedenen Technologien und Anwendungen
(z.B. Leistungshalbleiter, LED, Mikromechanik, MEMS, Sensortechnik)
eingesetzt. Die centrotherm photovoltaics AG mit Sitz in Blaubeuren
ist der weltweit führende Technologie- und Equipmentanbieter der
Photovoltaikbranche. Das Unternehmen stattet namhafte
Solarunternehmen und Branchen-Neueinsteiger mit schlüsselfertigen
("Turnkey") Produktionslinien und Einzelanlagen für die Herstellung
von Silizium, kristallinen Solarzellen und -modulen sowie
Dünnschichtmodulen aus. Damit verfügt der Konzern über eine breite
und fundierte Technologiebasis sowie Schlüsselequipment auf nahezu
allen Stufen der photovoltaischen Wertschöpfungskette. Seinen Kunden
garantiert centrotherm photovoltaics wichtige Leistungsparameter wie
Produktionskapazität, Wirkungsgrad und Fertigstellungstermin. Der
Konzern beschäftigte zum Stichtag 31. Dezember 2011 rund 1.900
Mitarbeiter und ist weltweit in Europa, Asien und den USA aktiv. Im
Geschäftsjahr 2011 erzielte centrotherm photovoltaics einen Umsatz
von rund 700 Mio. Euro. Das Unternehmen ist im TecDAX an der
Frankfurter Wertpapierbörse gelistet. Mehr über centrotherm unter
www.centrotherm.de.

Über SEMATECH® SEMATECH®, ein internationales Konsortium von
führenden Halbleiterbauelement,-produktionsanlagen und
-materialherstellern, feiert dieses Jahr 25 Jahre herausragende
Leistung in der Beschleunigung der Kommerzialisierung technologischer
Innovationen in Produktionslösungen. Aufgrund des unerschütterlichen
Engagements, die Zusammenarbeit in der Nanoelektronik-Industrie zu
stärken, hilft SEMATECH seinen Partnern, den industriellen Wandel zu
begleiten, technischen Konsens voranzutreiben, Forschungsergebnisse
in der Industrie umzusetzen, Produktivität in der Fertigung zu
erhöhen sowie Kosten- und Zeitrisiken zu minimieren. Weitere
Informationen über SEMATECH sind unter www.sematech.org zu finden.

Kontakt:
SEMATECH
Erica McGill
001-518-649-1041
E-Mail: erica.mcgill@sematech.org

centrotherm
Saskia Feil
Senior Manager Investor & Public Relations
Tel: +49 7344 918-8890
E-Mail: saskia.feil@centrotherm.de

Dr. Torsten Knödler
Manager Public Relations
Tel: +49 7344 918-8898
E-Mail: torsten.knoedler@centrotherm.de

Rückfragehinweis:
Dr. Torsten Knödler
Manager Public Relations
Tel.: 07344 - 918-8898
E-Mail: torsten.knoedler@centrotherm.de

Ende der Mitteilung euro adhoc
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Unternehmen: centrotherm photovoltaics AG
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D-89143 Blaubeuren
Telefon: +49 (0) 7344 91880
Email: info@centrotherm.de
WWW: http://www.centrotherm.de
Branche: Energie
ISIN: DE000A0JMMN2
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Börsen: Freiverkehr: Berlin, München, Hamburg, Düsseldorf, Stuttgart,
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Sprache: Deutsch