LumaSense Technologies stellt bahnbrechende Lösung für die Temperaturmessung vor, die nie dagewesene Steigerung der Produktivität und Effizienz bei MOCVD-Prozessen in der LED-Produktion bedeutet
Geschrieben am 21-12-2012 |
- Neue UV-Pyrometrietechnologie vom führenden Unternehmen der
Branche der Temperaturfühlung
Santa Clara, Kalifornien (ots/PRNewswire) - LumaSense
Technologies, Inc. [http://www.lumasenseinc.com/] hat die Pyrometer
UV 400 und UVR 400 herausgebracht, die neuste Generation
berührungsfreier Temperaturmessgeräte für Prozesse der Metal Organic
Chemical Vapor Deposition (MOCVD) in der schnell wachsenden
LED-Industrie. LEDs sind auf dem Weg, im Jahr 2020 das führende
Produkt in der Lichtbranche zu werden, deren Umsatz 60 Milliarden
US-Dollar beträgt. LEDs sind entscheidend als Lichtquellen für
Mobilgeräte, Fernseher und weitere Produkte in der wachsenden
Elektronikbranche, deren Umsatz 1,2 Billionen Dollar beträgt. UV 400
und UVR 400 sind auf einzigartige Weise in der Lage, Herstellern, die
MOCVD-Verfahren nutzen, bei der LED-Produktion zu verbesserter
Effizienz und verringertem Ausschuss zu verhelfen.
Die Pyrometer nutzen eine zentrale Wellenlänge im UV-Spektrum (400
nm) und ermöglichen die Messung der echten Oberflächentemperatur der
Wafer. Herkömmliche Pyrometer hingegen sind nur in der Lage, die
Temperatur der Aufnehmer bzw. Taschen unter dem Wafer zu messen. Dies
ermöglich akkurateste und wiederholbare Kontrolle der
Wafertemperatur, die z. B. in der LED-Produktion für die endgültige
Wellenlänge und die Herstellungsresultate entscheidend ist.
Die große Temperaturspanne von 650 bis 1300 Grad Celsius
ermöglicht die Messung verschiedenster Anwendungen wie des Wachstums
der GaN-Pufferschicht oder der multiplen Quantenquelle. Die schnelle
Reaktionszeit von bis zu 8 ms ermöglicht die Messung schnell
ablaufender Prozesse. Instrumentierung für echte Photonenzählung
garantiert die besten erreichbaren Werte beim Verhältnis
Signal/Rauschen und der Stabilität.
Das Pyrometer UVR 400 verfügt gegenüber dem UV 400 über ein
Laser-Reflektometer mit 635 nm, das die Echtzeit-Messung der Dicke
und Wachstumsrate der GaN-Schicht beim Epitaxiewachstum ermöglicht.
"LumaSense hat in der Halbleiterbranche mehr als 8.000 Systeme im
Einsatz und fast 2.000 MOCVD-Werkzeuge im Einsatz. Wir sind in diesem
Bereich zweifellos eine führende Kraft bei Temperaturinstrumenten",
sagte Brett Sargent, Vizepräsident und Geschäftsführer des Bereichs,
Products & Solutions bei LumaSense Technologies Inc. "UV 400 und UVR
400 setzen jetzt den neuen weltweiten Standard bei MOCVD-Messgeräten.
Die Instrumente haben belegt, dass ihre Temperaturmessungen eine
verlässliche Korrelation zwischen der gemessenen Prozesstemperatur
und der Wellenlänge des fertigen Produkts liefern. Dies wird unseren
Kunden zu noch nicht dagewesenen Produktivitätszuwächsen und
Effizienzverbesserungen verhelfen."
UV 400 und UVR 400 können zudem zusammen mit dem bewährten
PhotriX-Pyrometer mit konzentrischem Lichtleiter von LumaSense
genutzt werden, um zusätzlich die Reaktortemperatur zu kontrollieren.
UV 400 und UVR 400 liefern allein oder zusammen mit dem
PhotriX-Pyrometer die bestmöglichen Messdaten und Lösung zur
Prozesskontrolle, wie auch die beste Produktqualität und gesteigerte
Produktivität.
Über LumaSense Technologies(TM)
LumaSense Technologies, Inc. gehört zu den weltweit bewährtesten
Lieferanten innovativer Geräte für Sensoren von Temperatur und Gas
und von Systemen, Software und Plattformen industrieller Analyse, die
für Kunden mit hohem Verbrauch in den weltweiten Branchen Energie,
Industriematerialien und Hochtechnologie Ausschuss und Ineffizienzen
finden, reduzieren und verhüten. Die Sensorsysteme LS6 und die
Softwareprodukte der Klasse LumaSpec von LumaSense liefern einen
industriellen "sechsten Sinn", mit dem unsere Kunden
überproportionale Leistungssteigerungen umsetzen können.
LumaSense verfügt über Niederlassungen in Asien, Europa und
Amerika. Wir zählen mehr als 2.000 der größten Unternehmen der Welt
in über 85 Ländern zu unseren Kunden. Weitere Informationen über
LumaSense Technologies finden Sie unter: www.lumasenseinc.com
[http://www.lumasenseinc.com/].
Web site: http://www.lumasenseinc.com/
Pressekontakt:
KONTAKT: Daniel Schueftan, d.schueftan@LumaSenseInc.com
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